北京北方华创申请上电极装置及半导体工艺设备专利, 能够提高使用可靠性

发布日期：2025-05-21 07:20    点击次数：60

金融界2025年5月10日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“上电极装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119943636A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明提供一种上电极装置及半导体工艺设备，上电极装置包括屏蔽壳体、第一线圈、第二线圈、接地组件和多个连接部件，接地组件和多个连接部件均设置在屏蔽壳体内，多个连接部件均用于与设置在屏蔽壳体外的匹配部件电连接；第一线圈环绕在第二线圈的周围，第一线圈和第二线圈均具有馈入端和馈出端，第一线圈的馈入端、第一线圈的馈出端和第二线圈的馈入端一一对应的通过三个连接部件分别与匹配部件电连接，第二线圈的馈出端通过接地组件与屏蔽壳体连接接地。本发明提供的上电极装置及半导体工艺设备，能够提高耐压能力，降低打火风险，进而能够提高使用可靠性。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1035次，财产线索方面有商标信息61条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

本文源自：金融界